硅片清洗废水怎么处理方法|硅片清洗废水处理案例
文章来源:9ito.com | | 阅读量:62 收录日子:2026-07-14
该客户亩产2万吨太阳的光能级多晶硅,钝化处理工段诞生含HF生产废水处理工艺(pH≈1.5,氟亚铁离子含量1200mg/L),本市生态环保科室请求实行生产废水处理工艺零尾气排放。活动需搞定氟化物角度除掉与分质晶体薄弱环节。
废水处理特征参数研究
咸性极大
:需能量消耗非常多结合药水
氟性状繁复
:含HF、H2SiF6、SiF6²⁻等很多种存有结构类型
含蛙胶体
:养成平稳的SiO2·nH2O胶体溶液安全体系
整理生产技术标准流程
分时候制定一个"耐腐蚀水解+MVR蒸发掉+冷冻冰箱析出"工艺规划:
二级钙盐放置
:
一个添加Ca(OH)2至pH=3,提取CaF2(粒级10-15μm)
三级加药系统CaCl2+Al2(SO4)3,氟化物降低15mg/L
管式微滤
:0.1μm管径PTFE膜,挪用奠定物
MVR挥发器
:
降低机温度上升8℃,蒸发器气压25kPa
冷却水水TDS<50mg/L回收
速冻沉淀机系统
:
缓缓变凉至-5℃,沉淀Na2SiF6结晶体(溶解度>92%)
常温、干燥包装箱
:尖晶石有所作为副商品外售
关键因素技艺自主创新
设计等度pH调整法,缩减CaF2 包装这种现象
蒸馏母液流失至沉淀出的段,保证 血本属生物富集离心分离
进行316L铝合金+炭化硅防腐处理面料处理HF腐蚀不锈钢
項目课题
氟化物取除率99.9%,成果盐做到《工业生产氟化钠》(HG/T5192-2017)细则
蒸发器气液分离器水都工业废渣处理,第一年节能减排废渣5.20万吨
副货品市场销售薪资收入抵冲30%作业成本费
技术水平比与选择个人建议
凭借两个具代表性范例可以看出,硅片进行维护清洁废渣处理需基于明确土质作用抉择的工艺:
废污水业务类型
主要一些问题
推介技术组装
投资者料工费(元/吨水)
锯开研磨机化工废水
高SS、COD
混疑+Fenton+MBR
2.8-3.2万
超净水光催化原理废渣
氢氧化铁硅、进样器硼
阴离子互相交换+两级RO+EDI
4.2-5.0万
酸洗磷化废渣
高氟、烧碱溶液
钙盐成果+MVR+冰冻成果
6.0-8.0万
现实项目中需特别考虑的:
硅形状介绍
:使用29Si NMR谱图辨别硅单质的存在方式
膜环境破坏把握
:对於硅危害进行高zeta电极电位膜的材料
成本化路径
:氟化钙沉积物要加工待人造萤石
新出技术水平水平性發展市场需求信息显示,电催化剂的作用钝化技术水平水平性对难可降解可挥发硅清除率可以达到90%,而AI的血药加药抑制程序能降低了15-20%的物理的血药需要量,这部分全新技术水平水平性正当行业中示范性建设项目中证实使用的效果。