重庆某半导体器件电子器件创造厂，晶圆工艺的过程 中制造含硅、氟的唯一性废水加工处理操作，来设计操作规模较1200吨/日。废水加工处理操作成分表繁多，含带奈米级硅粒子及盐酸，过去的操作方式 无发考核标准。 焦化废水成份及特征 主耍被污染 ：悬浊液硅（100-500nm粒级）、氟铁离子（200-300mg/L）、异丙醇 源头工步 ：晶圆刻蚀废污水（45%）、CMP化学式自动化拋光废污水（40%）、装备喷洗水（15%） 补救工序方法 转型升级主要包括"检查是否沉定+特种车辆膜溶合"技能路线规划： 钙盐沉淀自己 ：添加氯化钙除掉氟阴阳离子（自动生成CaF2悠长岁月中） 斜板沉淀池表现 ：挽回二沉池剂变现胶体溶液硅脱稳 管式微滤 ：0.1μm内径膜截流微细颗粒物 反浸入系统 ：脱盐率>98%，的回收利用率75% 化掉晶粒 ：浓水段完成氟化物零摆放 以后结果 氟化物浓硫酸浓度：<8mg/L（远低于我国特级标准规范10mg/L） 硅水分含量：<5mg/L 水自然资源中水回用率：70%用到制冷塔补湿 危险废弃物减轻药量：挥发食物残渣量较传统型流程提高60%