某光电器件制作业企业公司因晶圆擦拭道工序引发含氨生产废水，供水量200吨/天。生产废河中除挥发酚外还具有刺激性氟化物和进样器血本属，操作难易度大。是时间废气排放让让挥发酚＜5mg/L，氟化物＜3mg/L。 废液材质及特征 晶圆清洁工作化工废水（具体来原）：含化学需氧量200-300mg/L，氟化物50-80mg/L 刻蚀工艺废污水：含少量铜、镍等巨资属，pH值振幅大 CMP磨细废水处理：含硅颗粒剂及氧化还原电位 工作技艺具体步骤 所采用"化工沉淀物中+膜转移+折点氯化"三人组合的工艺： 预治理 ：加药CaCl2除氟，管控pH在7.5-8. 反渗透膜程序 ：祛除0.01μm不低于科粒物 反参透精提 ：将挥发酚浓缩提炼至1000mg/L这些 折点氯化 ：准确度管控氯加药系统量，将挥发酚转化成为N2 铝离子置换 ：有效保障了血本属达到 进而疗效 化学需氧量可靠＜3mg/L，氟化物＜1mg/L 天价属的含量降至查重限 水循环率达75% 污泥处理形成量下降40%