硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法
文章来源:9ito.com | | 阅读量:80 刊登时光:2026-07-14
该厂为8厘米晶圆产量线配置的超软水平台,每一刻带来含硅焦化废水150吨。焦化废水下虽无巨资属,但硅含锌量高易结渣,且电阻值率需高于18MΩ·cm才能够回收利用。现有加工处理工学艺没有符合新施行的《电子技术工业化的水污染问题物污染物口准则》(GB39731-2020)尤其污染物口规定值。
电镀废水化学成分优点和缺点
一般的空气污染物
:胶体溶液硅(200-300mg/L)、粒子硅(粒度分布0.1-1μm)
层次性需要
:TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L
水质检测性质
:低电阻率(<50μS/cm)但硅有机化合物社会形态简化
治理 生产技术注意事项
什么是创新分为"梯级膜破乳+电去阳离子"组合名字流程:
微滤预处里
:1μm陶瓷图片膜拦住大颗粒肥料硅,通量能维持80LMH
阳离子互换光敏树脂
:D201大孔光敏树脂挑选性物理吸附硅酸碳原子
二次RO设计
:独一段收旧率60%,第2段适用高脱硼膜组件
EDI电去正离子
:电流大小密度单位2A/m²,持续不断消除残存铝离子
分光光度计灭菌
:254nm紫外光线使用量40mJ/cm²
新技术突出
建设多功能阻硅剂(生物碳胺类pp物),减慢膜环保问题周期长3倍
EDI包块改革创新流道制定,硅取除率提高自己至99.8%
线上硅深入分析仪器(精确测量空间0.1-500μg/L)保持精准度调整
工作认真总结
经几方面检验:
总硅从280mg/L降为0.05mg/L
硼水分含量从8μg/L下降0.3μg/L
系统软件回收并率从原40%提高自己至68%
膜根换时间是提升至5年,年进行投入削减35%